ArF液浸

半導体

ニコン、価格でASMLに挑む露光装置の逆襲

かつて世界の露光装置市場を支配した日本メーカーが、「安さ」という武器で再び戦場に立とうとしている。ニコンの新社長・大村泰弘氏は日本経済新聞の取材に対し、ArF液浸露光装置をASMLより安価に提供して顧客を奪う方針を明言した。「自前で作る部分が多く、コスト競争では有利だ」。