半導体
中国の国有企業、液浸DUV装置の量産を開始か。ASML株6%下落
年5台から始まる国産液浸露光装置が、ASMLの独占に何をもたらすのか。株式市場は即座に反応したが、量産と実用は別の壁だ。 報道が走った日に起きたこと 現地時間7月27日、上海の国有企業が液浸DUV(深紫外線)リソグラフィ装置の量産を開始したとThe Informationが報じた。事情に詳しい2人の関係者の話として伝えている。 報道によれば、出荷目標は2026年に約5台、2027年に約20台。納入先に挙がったのは、中国最大の半導体受託製造企業であるSMIC(中芯国際集成電路製造)、華虹(Hua Hong)セミコンダクター、そしてDRAM大手のCXMT(旧ChangXin Memory Technologies)の3社だ。 メーカー名は伏せられた。複数の中国企業からDUV開発チームを集約した組織で、そのひとつが上海裕良晟科技(Shanghai Yuliangsheng Technology)だという。裕良晟はSiCarrier傘下の企業で、ファーウェイとのつながりが指摘されている。米商務省は2024年末、裕良晟を輸出規制対象リスト(エンティティリスト)に加えている。 報道が出